Fyzika tenkých vrstev - NEVF114
|
|
|
||
Interakce a migrace atomů na povrchu. Mody a fáze růstu tenkých vrstev (TV). Rovnovážná teorie nukleace TV. Kinetika versus termodynamika. Kinetické rovnice růstu TV. Vliv kinetiky na růst. Počítačové simulace růstu. Růst na atomárních terasách. Epitaxní růst. Vlastnosti tenkovrstvových struktur - elektrické, magnetické, optické a mechanické. Využití tenkých vrstev - příklady. Nízkodimenzionální struktury.
Poslední úprava: T_KEVF (07.05.2005)
|
|
||
Získání zápočtu je podmínkou pro konání zkoušky. Udělení zápočtu je podmíněno absolvováním dvou praktických úloh a vypracováním protokolu k nim. Povaha kontroly studia předmětu vylučuje opakování této kontroly, zápočet se tedy opakovat nedá. Poslední úprava: Pavlů Jiří, doc. RNDr., Ph.D. (03.06.2020)
|
|
||
Eckertová L.: Physics of Thin Films, Plenum Press - SNTL, New York - Praha, 1986. Venables J. A.: Surfaces and Thin Film Processes, Cambridge Univ. Press Cambridge 2000. Michely T., Krug. J.: Islands, Mounds and Atoms, Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2004. Poslední úprava: T_KEVF (07.05.2005)
|
|
||
Výuka v ZS 2020 probíhá formou on-line přednášek. Více informací viz https://physics.mff.cuni.cz/kfpp/rozvrh.html Poslední úprava: Roučka Štěpán, doc. RNDr., Ph.D. (06.10.2020)
|
|
||
Zkouška probíhá ústní formou. Požadavky odpovídají sylabu předmětu v rozsahu, který byl prezentován na přednášce. Poslední úprava: Sobotík Pavel, doc. RNDr., CSc. (06.10.2017)
|
|
||
1. Základní procesy při depozici
Adsorpce. Pohyb atomu v periodickém potenciálu -povrchová difůze. Interakce adatomů a klastrů. Vliv schodů, poruch a příměsí. 2. Teorie nukleace a růstu tenkých vrstev Mody a fáze růstu TV. Rovnovážná teorie nukleace. Atomistická teorie. Kinetické rovnice růstu. Simulace růstu TV. Kinetika versus termodynamika. 3. Vliv parametrů na strukturu TV Amorfní, polykrystalické a epitaxní vrstvy. Vliv pnutí při heteroepitaxi - Stranski-Krastanov růst. Vliv kinetiky (2Dx3D růst, kritický poloměr, role schodů, Ehrlich-Schvoebelova bariéra, step-flow mód). 4. Vlastnosti TV Elektrické vlastnosti. Mechanické vlastnosti. Magnetické a optické vlastnosti. Aplikace tenkých vrstev. 5. Nanostruktury Fyzikální vlastnosti nízkodimenzionálních objektů. Příprava nanostruktur. Využití samoorganizujících procesů při růstu nanostruktur. Poslední úprava: T_KEVF (13.05.2005)
|