|
|
|
||
Poslední úprava: Marcela Búryová (14.05.2024)
|
|
||
Poslední úprava: Marcela Búryová (14.05.2024)
[1] H. Biederman: Plasma Polymer Films. Imperial College Press, London 2004 [2] H. Biederman, Y.Osada: Plasma Polymerisation Processes. Elsevier, Amsterdam 1992 [3] M. Vůjtek, R. Kubínek, M. Mašláň: Nanoskopie, Univ. Palackého Olomouc 2012 [4] N. Fairley: CasaXPS Manual, www.casaxps.com |
|
||
Poslední úprava: Marcela Búryová (14.05.2024)
Zkouška je ústní. Pokud budou zrušena COVID omezení, zkouška se bude konat prezenčě. Podmínkou udělení zápočtu a úspěšného složení zkoušky je systematická dochazka. Požadavky ke zkoušce odpovídají sylabu předmětu v rozsahu, který byl prezentován na přednášce. |
|
||
Poslední úprava: Marcela Búryová (14.05.2024)
1) Vymezení pojmů tenká vrstva, nízkoteplotní plazma, vakuum. 2) Úvod do problematiky vakuové depozice tenkých vrstev - napařování, magnetronové naprašování, reaktivní magnetronové naprašování, plazmová polymerace. 3) Měření optických vlastností a tlouštěk tenkých vrstev - spektroskopická elipsometrie 4) Metody chemické analýzy povrchů - XPS, FTIR, EDX 5) Zkoumání morfologie povrchů - AFM, SEM 6) Měření mechanických vlastností pomocí nonoindentace 7) Měření smáčivosti a povrchové energie |