|
|
|
||
Poslední úprava: T_KMF (18.05.2010)
|
|
||
Poslední úprava: T_KMF (18.05.2010)
Cílem předmětu je poskytnout posluchačům přehled metod diagnostiky plazmatu, a to jak s ohledem na jejich výhody, tak i limity jejich použitelnosti. |
|
||
Poslední úprava: doc. RNDr. Ondřej Kylián, Ph.D. (09.10.2017)
Zápočet je udělován za systematickou účast na semináři a za vypracování referátu o jedné z vybraných diagnostických metod. Povaha kontroly studia předmětu vylučuje opravné termíny zápočtu.
|
|
||
Poslední úprava: doc. RNDr. Ondřej Kylián, Ph.D. (10.05.2019)
J. M. Hollas: Modern spectroscopy, J. Wiley, 2004 E.de Hoffmann, V. Stroobant: Mass Spectrometry. Principles and Applications, Wiley-Interscience, 2007 |
|
||
Poslední úprava: T_KMF (18.05.2010)
Posluchač se během tohoto semináře seznámí se základy sondových, optických a korpuskulárních metod diagnostiky plazmatu, a to hlavně s ohledem na určování základních vlastností plazmatu během depozice a úpravy povrchů. Pozornost bude věnována zejména: 1) Určování koncentrací nabitých částic pomocí hmotnostní spektrometrie a sondových měření 2) Určování koncentrací neutrálních částic pomocí optických a korpuskulárních diagnostických metod 3) Určování energetického rozdělení částic ve výbojovém plazmatu |